国度学问产权局信息清楚，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司苦求一项名为“一种晶圆载入安装”的专利，公开号CN121548259A，苦求日历为2025年11月。

专利摘记清楚，本发明提供了一种晶圆载入安装，包括：围合壳体，其内变成有载入腔室；至少一个晶圆支架，诞生在载入腔室内，用于撑合手晶圆；抽气口，变成于晶圆支架下方的围合壳体的部分中；抽真空开发，诞生于抽气口下方，具有正对抽气口的气体进口以及安装于气体进口处的叶轮，用于对载入腔室抽真空；阀门，诞生于抽气口与气体进口之间，成就为在开启情景时连通抽气口与气体进口而在关闭情景时阻断抽气口与气体进口；以及挡板，比赛下注app官网版水深谷诞生于抽气口的正上方且其上名义在竖朝上不凸出于晶圆的上名义，挡板的形态被策动为使挡板藏匿抽真空开发和阀门启动期间产生并被叶轮反弹的颗粒，从而灵验减少晶圆上名义的颗粒数目。

天眼查贵府清楚，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司，建筑于2014年，位于北京市，是一家以从事计较机、通讯和其他电子开发制造业为主的企业。企业注册老本36401.6097万东说念主民币。通过天眼查大数据分析，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标样貌23次，财产踪影方面有商标信息156条，专利信息406条，此外企业还领有行政许可18个。

声明：市集有风险，投资需严慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不组成个东说念主投资提倡。

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